FRT Sensor für die Dickenmessung transparenter dünner Schichten

Redakteur: Carmen Kural

Der FTR-Dünnschichtsensor von FRT ist ein spezieller Sensor für die Dickenmessung transparenter dünner Schichten und Schichtsysteme. Das reflektometrische Verfahren zeichnet sich laut Anbieter durch die berührungslose, zerstörungsfreie Messung mit hoher Auflösung aus.

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(Bild: FRT)

Der Sensor basiere auf der spektral aufgelösten Reflexionsmessung und einer hoch entwickelten Auswertesoftware. Die Bestimmung der Dicke dünner Schichten mit dem FTR beruht auf der Überlagerung von Teilwellen, die an den Grenzflächen des dünnen Films reflektiert werden.

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