MKS Instruments

Wichtige Laserparameter in Echtzeit überwachen

| Redakteur: Peter Königsreuther

MKS Instruments präsentiert den Ophir Focal Spot Analyzer. Dieses Messgerät dient zur Überwachung des Laserstrahls und vermisst dabei den Fokus und die Leistung von Highpower-Lasern in Echtzeit, so MKS. Er bewähre sich besonders bei Anwendungen wie der Fertigung von medizinischen Produkten und dem Mikroschweißen.
MKS Instruments präsentiert den Ophir Focal Spot Analyzer. Dieses Messgerät dient zur Überwachung des Laserstrahls und vermisst dabei den Fokus und die Leistung von Highpower-Lasern in Echtzeit, so MKS. Er bewähre sich besonders bei Anwendungen wie der Fertigung von medizinischen Produkten und dem Mikroschweißen. (Bild: MKS)

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MKS Instruments präsentiert mit dem Ophir Focal Spot Analyzer ein Messgerät zur Überwachung des Laserstrahls, das den Fokus vermisst und die Leistung von Highpower-Lasern in Echtzeit überwacht.

Der Focal Spot Analyzer messe den Durchmesser des Laserstrahls im Fokus bis hinunter auf 35 µm und die Laserleistung unter 1 bis 400 W bei Wellenlängen zwischen 266 und 1100 nm. Das System wurde laut MKS für Laseranwendungen entwickelt, die nur eine geringe Arbeitsentfernung zulassen. Es misst die Leistungsverteilung im Fokus sowie Verschiebungen der Fokuslage.

Außerdem gibt es Auskunft über die Lage und Ausprägung der Laserkaustik, so MKS. Die Präzision der Messungen zeige sich auch darin, dass die Entfernung des Kameraarrays NIST-rückführbar sei. Bei Anwendungen wie etwa der Fertigung von medizinischen Produkten oder beim Mikroschweißen, die einen Brennfleck mit klar abgegrenztem, schmalen, und reproduzierbarem Prozessfenster für das Intensitätsprofil benötigen, sind das wichtige Funktionen, wie es weiter heißt.

Unterstützt die Laserstrahleffizienz

„Den Laserstrahl auf einen sehr kleinen Fleck zu fokussieren, intensiviert den Strahl und macht diesen optisch effizienter“, erklärt Gary Wagner, General Manager von Ophir Photonics in den USA. Speziell wenn es um die Fertigung medizinischer Produkte gehe, bei denen der Laserstrahl auf eine Fokusgröße von nur wenigen tausendstel Zentimeter im Durchmesser fokussiert werde, gelte es das zu berücksichtigen. Mithilfe des Focal Spot Analyzers wisse der Anwender stets genau, wo der Brennfleck gemessen wird und wie die 2D-Verteilung auf der Messebene aussehe – unabhängig davon, ob es sich um den Fokus handle oder nicht.

Kamerasystem mit Strahlenschutzengel

Der Focal Spot Analyzer arbeitet laut MKS mit einer hochauflösenden Kamera – entweder mit der SP928 CCD Strahlprofilkamera oder der großformatigen Schwester namens LT665, einem LBS-300 Strahlabschwächer mit zwei Strahlteilern für die Polarisationsneutrale Abschwächung, der „Beamgage“ Strahlprofil Software sowie mit einem Kalibrierzertifikat. Der LBS-300 Strahlabschwächer ermögliche es den Anwendern, die Ausgangsleistung des Laserstrahls abzuschwächen, der die Kamera erreicht. Es würden jeweils über 99 % des Strahls pro Abschwächer transmittiert, während 0,01 % zur Kamera weitergeleitet würden. Der Strahlteiler selbst beeinflusse die Polarisation nicht, sondern behalte die Polarisationskomponenten des ursprünglichen Strahls bei.

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