Ätzend ... ist richtig gut!

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Ein von Precision Micro für die Blutfiltration hergestellter Mikrofilter aus Edelstahl ist 50 µm dick. Bei einem Durchmesser von 78 mm hat er über 130.000 Öffnungen mit Durchmessern von jeweils 100 µm. Mit dem Ätzverfahren konnten im Gegensatz zum zuvor genutzten Laserverfahren alle 130.000 Löcher gleichzeitig und in einem Bruchteil der Zeit grat- und spannungsfrei geätzt werden.

Dielektrische Beschichtung in Herzschrittmachern

Der Fall eines aktiven elektronischen Medizinprodukts zeigt, dass mit der Ätztechnik neben einem komplexen Design auch besondere Anforderungen an die Beschichtung umgesetzt werden können: Precision Micro hat ein dielektrisches Beschichtungsverfahren für die Innenseite von implantierbaren Abschirmgehäusen für Herzschrittmacher entwickelt. Dort besteht die Gefahr von Störlichtbögen zwischen dem Schaltkreis und dem geerdeten Gehäuse als Folge von Spannungsspitzen oder Überspannung durch externe Stimuli. Die isolierende Beschichtung von Precision Micro wird selektiv und gleichmäßig auf die Innenoberflächen des Abschirmungsgehäuses aufgebracht. Sie ist kraterfrei, wirkt sich nicht nachteilig auf die Abschirmungswirkung des fertigen Gehäuses aus und haftet am Substratmetall.

... bis zu Hörgeräten mit dünnen Flachfedern

Auch die Herstellung von Flachfedern für Hörgeräte ist eine Herausforderung: Denn die Scheiben müssen zwischen 38 und 100 µm dünn und mit 4 mal 8 mm sehr klein sein. Entscheidend ist zudem, dass die Profile der Teile absolut glatt und die Teile insgesamt gratfrei sind. Beim Fotoätzen der Flachfedern war Precision Micro gefordert, eine äußerst geringe Abweichungstoleranz von +/- 25 µm zu fertigen. Um diese zu erzielen, waren in der Entwicklungsphase mehrere Werkzeugdurchläufe nötig. Aufgrund der digitalen Werkzeuge war dies schnell möglich. Das Fotoätzen erlaubt auch eine hervorragende Materialnutzung, so dass das Verfahren auch in diesem Punkt im Vergleich zu anderen Methoden kostengünstig ist.

Autor: Markus Retting ist Technical Sales Manager bei Precision Micro in Eckental.

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